整支濾芯皆為PFA材質。
專用於高溫、高腐蝕及無溶出製程。
濾芯通過起泡點測試。
濾芯通過完整性測試。
| 型 式 | ALL PFA濾芯 |
|---|---|
| 材 質 | 濾膜：親水性PTFE, 疏水性PTFE 支撐材：PFA 外殼、中柱、上下端蓋：PFA O-ring：Teflon encapsulated Viton |
| 精 度 | 10, 15, 20, 30 nm 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1, 3, 5, 10 μm |
| 規 格 | 4, 10, 20, 30 inch 及特殊尺寸規格 |
| 濾芯外徑 | Ø69mm, Ø83mm |
| 端 蓋 | 2-222平尾 |
| 操作範圍 | ΔP : 5.0 bar at 25℃, 0.5 bar at 180℃ |
| 適用範圍 | 濕蝕刻, 精密化學品 |
