CMP微孔摺疊式濾芯採用多層不同精度的濾材,經漸進式堆疊串聯,達到分層過濾及精確過濾的效果。
外疏內密複合式纖維結構,提高容雜量延長使用壽命,提升對不同粒徑的攔截能力。
流出面使用類薄膜濾材,纖維穩定熔合,避免攔截物產生架橋現象後,纖維位移影響過濾效率。
可依客戶使用條件的不同進行客製。
| 型 式 | CMP微孔摺疊式濾芯 |
|---|---|
| 材 質 | Polypropylene |
| 規 格 | 10, 20, 30 inch |
| 精 度 | 0.1, 0.2, 0.5, 0.8, 1, 3, 5, 7, 9, 11, 13, 15 μm |
| 端 蓋 | 2-222平尾 |
| 操作範圍 | ΔP : 4.8 bar at 25℃ |
| 適用範圍 | CMP製程 |



